臭氧可以破坏致病微生物，能保证*消毒而没有毒性副产物的产生。采用臭氧发生器消毒取代氯气消毒可杜绝有机氯化物的生成，而且可直接去除水中有机氯化物。但有研究发现，臭氧的氧化作用具有较强的选择性，它对水中已经形成的三氯甲烷几乎没有去除作用。同时臭氧会导致水中可生物降解物质的增多，可生物降解物质增多的后果会引起供水管网中细菌的繁殖，使水厂出水的生物稳定性降低。因此臭氧很少在饮用水处理工艺中单独使用。