植物受O3损害的程度主要取决于臭氧发生器浓度及作用时间。一般臭氧浓度大于0.08×10-6且作用时间超过1h以上，大多数的植物就会产生可视与不可视危害。在臭氧浓度的持续时间相同的条件下，由于植物生理、生态、环境及栽培条件不同，其受害程度也有很大差异。即使同一植物品种，在不同生育期内，在一天的不同时间内，其对臭氧的敏感程度都有明显变化，甚至同一个体的不同叶片，对臭氧的感受也有明显差异。另外，在实际的温室栽培条件下，臭氧在光的作用下，会同NO2、NH3（本机无氮氧化物）及农药中的挥发有机气体相作用形成复合危害的气团，在复合危害的条件下，植物的受害程度就会出现新的变化，呈现相柔、相克或相加的种种关系。也就是说，温室内空气超污浊，投放的高浓度臭氧同污浊的空气成分相作用，即有可能为植物提供新的营养物质，也有可能迅速危害植物。特别是当浓度达到0.15×10-6以上的高浓度臭氧对农作物造成的可视危害症状与SO2的危害症状基本相同，如绿色消褪，叶色变红，叶表面灰白，出现白色的荞麦状的小斑点、暗褐色的点斑和不规则的大范围坏死。臭氧对植物的危害还有一些是不可视的，如生理机能降低，生长发育受到抑制，形成早期老化，致使产量降低等。无论是可视的还是不可视的危害，臭氧的危害都是由气孔开始的，臭氧侵入的速度受气孔开度的支配，臭氧危害植物的机制表现在4个方面。①O3进入叶肉时，气孔及叶肉组织就增大对O3扩散的阻抗作用，这同时也阻抗了CO2的进入和扩散。②O3本身有破坏叶绿体的作用，并阻碍光合反应中的部分电子传递。③破坏叶肉组织，O3主要是破坏叶肉的栅状组织细胞。④O3损害细胞的透性，使细胞液大量渗出，部分植物还有乙烯逸出，使植物自身早期老化等。总之，O3阻碍和破坏植物的光合作用、生理机能，使植物的干物质产量降低。因此，用于温室病害防治的臭氧浓度一定要控制在0.06×10-6以内，且作用时间要短于30min。