臭氧发生器产生的臭氧分子式为O3，（它一般是通过高压放电激活空气中的氧气而获得的，）本机采用新型PEM膜电极低压直流电解纯水的方式产生臭氧的，它的自然消失速度比高压放电法要慢，约在几十分钟内就由臭氧转化为氧气。在这个过程中，O3分解出一个单原子氧，O3的杀菌作用主要来自这个单原子氧的氧化作用。单原子氧与引起温室植物病害的细菌、真菌及病毒接触后，将其组织蛋白、氨基酸、硫醇类或低分子量肽以及不饱和脂肪酸氧化，引起这类微生物、病毒的活性降低甚至死亡。细胞膜是臭氧氧化作用的主要部位，臭氧作用于细胞膜上，形成的游离根——超氧负离子自由基O-2能使细胞膜氧化破裂，失去物质交换能力，现时O-2又具有使基因改变的作用，使得生物体不能正常的生活。臭氧对几乎所有的温室气传病害的病原菌都具有防治和杀灭作用，而对多数土传病害的防治也有效，臭氧杀菌要求有一定浓度和作用时间。环境中的温度、湿度、空气成分等因素对臭氧杀菌效果都有显著影响。温度愈高，杀菌效果愈差。棚温在30℃以上的白天，臭氧灭菌几乎无效，因此，夜晚、阴天使用效果好。湿度的影响要复杂的多，高湿有光照的防治效果较高湿无光照的效果差。用于温室植物病害防治且又不然害植物生长的臭氧浓度为0.06×10-6，使用时间应小于20min。