影响臭氧发生器水消毒灭菌效果的因素是多方面的，主要是：投加臭氧的浓度、水的温度、pH值、水中的杂质及生物等，投加臭拉的浓度越高，水中残余臭氧浓度就越高；在相同的臭氧浓度下，水温越低，臭氧溶解度就越高，其溶解度在水温30℃时为22％、10℃时为54％、0℃时为69％，pH值影响臭氧的氧化能力，pH值高氧化能力强，水的浑浊度在5mg/l以下时对臭氧消毒灭菌影响极微，水的浊度在5mg/l以上时，对臭氧灭菌消毒有影响。有相当一部分臭氧量用于有机物、无机物的氧化分解上，因此用于制作臭氧水的水应当澄清和过滤除杂质。水中杂质增加1mg/l时则须2～4mg臭氧用于氧化分解它，臭氧消耗量增大不经济。