1785年，德国人在使用电机时，发现在电机放电时，产生一种奇怪的气味。直至1840年，法国科学家Schonbein将这种异常气味确定为O3，命名为OZONE。
　　
　　自此，欧洲科学家便开始研究臭氧的特性与功用。随着人们对臭氧研究的不断深入，现在臭氧的特性应用已十分明确。其实在自然界中，臭氧本身是广泛存在的，只是不同条件下浓度差别比较大，不容易被人们察觉。现在人们所了解的大气臭氧层，是阻挡太阳紫外线的天然屏障，它是由太阳光的一种特定波长光谱的光照射空气产生的。每当雷雨过后，我们就会闻到一种特殊的清新味道，这实际上就是空气中臭氧浓度提高的结果。
　　
　　人们对臭氧研究发现，臭氧具有不稳定性与强氧化性。臭氧的主要应用就是在人为的灭菌消毒。这是因为臭氧的强氧化性，氧原子可以氧化细菌，细胞壁，直至穿透细胞壁与其体内不饱和键化合夺去细菌生命，它的作用是即刻完成的。因此，臭氧发生器在灭菌消毒中名列，也成就了它的四大功效：灭菌、氧化、脱色、除味。也正是这些功效，让臭氧在给排水处理、污水废水处理、纸浆漂白、畜牧杀菌除臭等各行各业有了用武之地。